干式真空泵應(yīng)用那些行業(yè)
干式真空泵種類(lèi)很多，按工作原理可分為兩類(lèi)：容積式干式真空泵和動(dòng)量傳遞式干式真空泵。不管哪類(lèi)的干式真空泵，對(duì)其要求又有哪些呢？
一般對(duì)干式真空泵的要求為：清潔；安全；耐磨；造價(jià)低；維修方便；性能穩(wěn)定；振動(dòng)小，噪音低。只有這樣，干式真空泵才有使用和推廣的價(jià)值。在清潔的要求方面，對(duì)于哪些用油潤(rùn)滑的干式真空泵都有一個(gè)潛在的油蒸氣的污染源存在，要采取一定措施加以解決。
一般對(duì)干式真空泵的要求為：清潔；安全；耐磨；造價(jià)低；維修方便；性能穩(wěn)定；振動(dòng)小，噪音低。只有這樣，干式真空泵才有使用和推廣的價(jià)值。在清潔的要求方面，對(duì)于哪些用油潤(rùn)滑的干式真空泵都有一個(gè)潛在的油蒸氣的污染源存在，要采取一定措施加以解決。
在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主要應(yīng)用對(duì)象的干式真空泵，會(huì)在許多抽氣工藝過(guò)程中出現(xiàn)一些顆粒物，一般說(shuō)來(lái)，在干式真空泵中出現(xiàn)顆粒物有三種情況：
1、當(dāng)泵內(nèi)壓力增高時(shí)引起氣固變相過(guò)程的發(fā)生；
2、在泵內(nèi)產(chǎn)生反應(yīng)氣體的生成物；
3、抽氣過(guò)程混入的顆粒物。
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，則用一定型
式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求；
4)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染；
5)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食 品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機(jī)溶劑造成污染，適合用干式真空泵。
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